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| 主体模组部传感器 | ||
| 编号 | I/O位置 | 信号名 |
| 1 | RX000 | 元件真空压力确认 |
| 2 | RX002 | 空气压力确认 |
| 3 | RX01D | 相邻模组松开确认 |
| 4 | X01A | 模组冷却风扇正常 |
| 5 | RX017 | 元件废料箱落座确认 |
| 主体模组部传感器 | ||
| 编号 | I/O位置 | 信号名 |
| 1 | RX000 | 元件真空压力确认 |
| 2 | RX002 | 空气压力确认 |
| 3 | RX01D | 相邻模组松开确认 |
| 4 | X01A | 模组冷却风扇正常 |
| 5 | RX017 | 元件废料箱落座确认 |