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| M6-2扩展搬运轨道传感器 | ||
| 编号 | I/O位置 | 信号名 |
| 1 | CX000 | 轨道1搬运轨道电路板通过确认L |
| 2 | CX001 | 轨道1搬运轨道电路板通过确认R |
| 3 | CX005 | 轨道1搬运轨道真空支撑销确认 |
| 4 | - | 轨道1搬运轨道电路板通过确认L放大器 |
| 5 | - | 轨道1搬运轨道电路板通过确认R放大器 |
| M6-2扩展搬运轨道传感器 | ||
| 编号 | I/O位置 | 信号名 |
| 1 | CX000 | 轨道1搬运轨道电路板通过确认L |
| 2 | CX001 | 轨道1搬运轨道电路板通过确认R |
| 3 | CX005 | 轨道1搬运轨道真空支撑销确认 |
| 4 | - | 轨道1搬运轨道电路板通过确认L放大器 |
| 5 | - | 轨道1搬运轨道电路板通过确认R放大器 |