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| 主体模组部传感器M6-3L | ||
| 编号 | I/O位置 | 信号名 |
| 1 | X01A | 模组下部冷却风扇正常 |
| 2 | RX010 | 空气压力确认 |
| 3 | RX011 | 元件真空压力确认 |
| 4 | RX013 | 相邻模组松开确认 |
| 5 | RX014 | 元件废料箱落座确认 |
| 6 | RX015 | 供料器误插入检测 |
| 7 | Y006 | 相邻模组锁定确认 |
| 8 | RY01C | 集成空气吹气ON |
| 9 | - | PZ轴伺服箱冷却风扇 |
| 10 | - | 正压阀门 |