DP20
 供料器单元（20料站） 

DP45
 供料器单元（45料站） 

TUM
 料盘单元M（10料站） + 供料器单元（25料站） 

TUM2
 料盘单元M（10*2料站） + 供料器单元（5料站） 

TUL
 料盘单元L（20*2料站） 
 

DP20+TUL

TULT
 料盘单元L（2组 * 12*2料站） + 供料器单元（7料站） 

TULTC
 料盘单元L（2组 * 12料站） + 供料器单元（19料站） 


DP20+DP45+TUM+TULTC+TULT


DP20-M
 料盘供料器M（6料站） + 供料器单元（9料站） 

DP45-M
 料盘供料器M（6料站） + 供料器单元（25+8料站） 

DP45-L
 料盘供料器L（10料站） + 供料器单元（25料站） 

DP45-S
 料盘供料器L（1料站） + 供料器单元（25料站） 

DP45-M2
 料盘供料器M（6*2料站） + 供料器单元（14+8料站） 

DP45-ML
 料盘供料器M（6料站） + 料盘供料器L（10料站） + 供料器单元（14料站） 

DP45-L2
 料盘供料器L（10*2料站） + 供料器单元（8料站） 

DP45-S2
 料盘供料器L（1*2料站） + 供料器单元（5料站） 

DP65
 供料器单元（65料站） 

TUM[DP65]
 料盘单元M（10料站） + 供料器单元（20+25料站） 

TULTW
 料盘单元L（2组 * 12*2料站） + 供料器单元（27料站） 

TULTW2
 料盘单元L（2组 * 12*2料站） + 供料器单元（25料站） 

DP65-M
 料盘供料器M（6料站） + 供料器单元（20+27料站） 

DP65-L
 料盘供料器L（10料站） + 供料器单元（20+27料站） 

DP65-M2
 料盘供料器M（6料站*2） + 供料器单元（12+27料站） 

DP65-ML
 料盘供料器M（6料站） + 料盘供料器L（10料站） + 供料器单元（12+27料站） 

DP65-L2
 料盘供料器L（10*2料站） + 供料器单元（6+27料站） 

MWU8i
 晶圆单元(20料槽×2料槽） + 供料器单元（9料站） 

MWU12i
 晶圆单元(25料槽) + 供料器单元（16料站） 

MWU12i-FC
 晶圆单元(25料槽) + 供料器单元（16料站） 

MFU
 供料器单元（39料站）+ 供料器单元（16料站） 

MFU-30
 供料器单元（50料站）
 
MFU-40
 供料器单元（64料站）

MTU-A
 料盘单元（10*2料站）
+ 供料器单元（20料站） 
 
BTU-A
 料盘单元（1~68料站）
标准料盘的极限放置1、16、32、48、64