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Panasonic -NPM_ 基板支架
编号
编码
位置
1
R4134
基板支撑上升1 轨道1
2
R4135
基板支撑下降1 轨道1
3
R4136
基板支撑上升2 轨道2
4
R4137
基板支撑下降2 轨道2
5
B1235
轨道2 基板支撑单元上限
6
B1236
轨道2 基板支撑单元下限
7
B1244
轨道1 基板支撑单元上限
8
B1245
轨道1 基板支撑单元下限